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半導(dǎo)體行業(yè)用軟X射線離子靜電消除裝置
SXN 系列通過(guò)使用軟 X 射線照射電離特定區(qū)域的空氣來(lái)消除靜電。
非常適合在清潔環(huán)境中使用，主要用于半導(dǎo)體、LCD、OLED 等的制造過(guò)程。
清潔環(huán)境的理想選擇
與電暈放電離子發(fā)生器不同，放電針不會(huì)產(chǎn)生顆粒或粘附。由于不使用空氣或風(fēng)扇，因此不存在氣流造成的環(huán)境干擾。
與免維護(hù)
電暈放電離子發(fā)生器不同，它沒(méi)有放電針，因此無(wú)需更換或清潔電極。當(dāng)輻照燈接近其使用壽命時(shí)，警報(bào)會(huì)通知您。
離子平衡±0V
由于⊕離子和?離子生成均勻，離子平衡在±0V時(shí)良好，不會(huì)發(fā)生反向充電。
高速除靜電性能
：瞬間電離帶電物體周?chē)臍夥眨梢钥焖偎p大范圍的靜電。
緊湊的機(jī)身和
小型頭部單元易于安裝，即使在有限的空間內(nèi)也能輕松安裝。
直接暴露于軟 X 射線對(duì)人體可能會(huì)產(chǎn)生有害影響并且很危險(xiǎn)。使用本產(chǎn)品時(shí)，需要采用以下屏蔽結(jié)構(gòu)。
根據(jù)電離輻射危害預(yù)防條例，您必須在預(yù)定安裝日期 30 天前向主管勞動(dòng)基準(zhǔn)監(jiān)督署提交通知。
通過(guò)考慮軟 X 射線屏蔽結(jié)構(gòu)材料和屏蔽率來(lái)遵守設(shè)備安全標(biāo)準(zhǔn)。
屏蔽材料
| 模型 | 設(shè)備配置 | |
| SXN-10V | 控制器SXC-10T 1臺(tái) | 照射頭SXH-10V 1臺(tái) |
| SXN-102V | 控制器SXC-102T 1臺(tái) | 照射頭SXH-10V 2臺(tái) |
| SXN-104V | 控制器SXC-104T 1臺(tái) | 照射頭SXH-10V 4臺(tái) |
| 規(guī)格 （主機(jī)、控制單元） | |||||
| 模型 | SXN-10V | SXN-102V | SXN-104V | ||
| 電源電壓/頻率 | AC100~240V 50/60Hz | ||||
| 能量消耗 | 23W | 40W | 50W | ||
| 離子發(fā)生方式 | 軟X射線照射法 | ||||
| X射線輻射源 | 軟X射線管 | ||||
| 冷卻方式 | 自然冷卻 | ||||
| 連接頭數(shù) | SXN-10V×1臺(tái) | SXN-10V×2臺(tái) | SXN-10V x 4 臺(tái) | ||
| 頭部重量 | SXN-10V：0.29kg/臺(tái) | ||||
| 控制器重量 | SXC-10T：0.52kg | SXC-102T：1.14公斤 | SXC-104T：1.64公斤 | ||
| 頭部更換指南 | 大約運(yùn)行 8,000 小時(shí) | ||||
| 外部輸出 | 警報(bào) | 磁頭異常、系統(tǒng)錯(cuò)誤等 | |||
| 互鎖 | 聯(lián)鎖開(kāi)/關(guān) | ||||
| 偏僻的 | 遠(yuǎn)程開(kāi)/關(guān) | ||||
| 力量 | 電源開(kāi)/關(guān) | ||||
| 隨著時(shí)間的推移 | 磁頭更換時(shí)間通知（7500小時(shí)） | ||||
| 展示 | 電源、聯(lián)鎖、超時(shí)、磁頭異常 | ||||
| 保證 | 購(gòu)買(mǎi)后1年 | ||||
| 材料 | 厚度（毫米） | |
| ① | 銅 | 0.1mm以上 |
| ② | 鋁 | 0.2mm以上 |
| ③ | 玻璃 | 1毫米以上 |
| ④ | 氯乙烯 | 5毫米以上 |
| ⑤ | 丙烯酸纖維 | 10毫米以上 |
| * | 抗靜電亞克力：5mm以上 | |
屏蔽率
