日本horiba非接觸式化學濃度監(jiān)測儀CS-900

總覽

下一代濕法HORIBA通過控制化學藥品濃度來提高產(chǎn)量并優(yōu)化工藝。

為了在半導體制造過程中遵守嚴格的化學濃度控制，我們實現(xiàn)了滿足現(xiàn)場需求的z佳功能，例如穩(wěn)定的測量精度，考慮到工作安全性的*管道固定結構以及緊湊的設計。

特征

實現(xiàn)*的非接觸式和高穩(wěn)定性

外部直接連接到PFA管道的*傳感器結構消除了污染的風險。此外，它消除了安裝傳感器時的管道工作需求，并消除了化學泄漏等事故的風險。此外，通過更新傳感器的光學系統(tǒng)，我們實現(xiàn)了小型化，同時保持了與常規(guī)產(chǎn)品（CS-600F ^{* 1}）相同的可重復性和穩(wěn)定性。

高質(zhì)量和穩(wěn)定的測量

• Contami風險為“零"

• 重現(xiàn)性和穩(wěn)定性相當于傳統(tǒng)產(chǎn)品CS-600F ^{* 1}

• 糾正由于液溫變化而引起的顯示器讀數(shù)變化

• 采用HORIBA獨chuang的算法來糾正氣泡的影響

抑制振動效果

• 采用HORIBA獨chuang的光學系統(tǒng)結構，可防止管道固定和未對準

節(jié)省空間

• 將光源和光譜儀集成到電池單元中

• 顯示器使用面板安裝類型（9.6厘米x 9.6厘米）

延長光源壽命

• 采用LED燈，使用壽命更長（5年保修）

改善工作安全

• 半年一次的BG校正周期

• 由于安裝傳感器時無需安裝管道，因此降低了發(fā)生化學泄漏等事故的風險。

* 1 CS-600F是HORIBA的光纖型化學濃度監(jiān)測儀。

由于不使用光纖的光學設計以及放大器和傳感器的小型化，增加了安裝布局的靈活性

實現(xiàn)直接和穩(wěn)定的化學物質(zhì)測量（20°C至80°C）

■穩(wěn)定性

測量條件
測量周期：每3秒測量時間：1小時
移動平均值：16次溫度：室溫管徑：3/4英寸
樣品濃度（在測量開始時）
NH ₃：0.95％H ₂ O ₂：5.15％H ₂ O ：93.9％

測量結果作為
樣品（實際溶液）的1小時的測量結果，顯示出良好的穩(wěn)定性。

日本horiba非接觸式化學濃度監(jiān)測儀CS-900

規(guī)范