日本tekhne露點(diǎn)儀在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用

發(fā)布日期：2021-07-16      瀏覽次數(shù)：1696

日本tekhne露點(diǎn)儀在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用

 測(cè)量氣體中的水蒸氣露點(diǎn)溫度的儀器叫做露點(diǎn)儀。

露點(diǎn)儀因所使用的冷卻方法和檢測(cè)控制方法不同, 可以分為多種類(lèi)型。這里只介紹熱電制冷自動(dòng)檢測(cè)露層的平衡式精密露點(diǎn)儀在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用。

露點(diǎn)儀在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)工藝中起重要監(jiān)測(cè)作用。半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)是在凈化間內(nèi)進(jìn)行的。凈化間規(guī)范往往包括相對(duì)濕度 (RH) 這一項(xiàng), 一年內(nèi)控制點(diǎn)的范圍從35%到65%, 精度2% (70℃以下) 濕度超標(biāo)會(huì)影響產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)計(jì)劃的完成。

在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)區(qū), 濕度不穩(wěn)定, 會(huì)出現(xiàn)很多問(wèn)題。典型的問(wèn)題是烘干期延長(zhǎng), 整個(gè)處理過(guò)程變得難以控制。當(dāng)相對(duì)濕度高于35%時(shí), 元件易被腐蝕。此外, 將顯影液噴在芯片表面時(shí), 顯影液迅速揮發(fā), 使芯片表面溫度下降, 致使水汽凝結(jié)在芯片表面。凝結(jié)水不但會(huì)影響顯影特性, 還會(huì)吸收到半導(dǎo)體內(nèi), 這將導(dǎo)致膨化及其它質(zhì)量缺陷, 還必須增加一些不必要的工藝控制。

凈化間常用的除濕方法有兩種。一種是調(diào)節(jié)空氣, 另一種是除濕劑。采用第一種方法時(shí), 將與凈化間氣流接觸的表面的溫度降至氣流露點(diǎn)以下。除去析出的冷凝水, 將除濕后的空氣加熱至規(guī)定溫度后, 重新送回凈化間。標(biāo)準(zhǔn)冷凍機(jī)可保證露點(diǎn)達(dá)到+4℃;采用第二種方法時(shí), 氣流通過(guò)吸濕劑, 吸濕劑直接吸收氣流中的水分, 然后將除濕后的空氣送回凈化間。吸濕劑除濕法可使露點(diǎn)低于-18℃。另外, 半導(dǎo)體芯片需在化學(xué)氣相沉積外延反應(yīng)爐中加工, 將一層穩(wěn)定的單晶硅膜沉積在芯片上。在加工過(guò)程中反應(yīng)爐中的水氣和氧氣會(huì)污染沉積膜而降低產(chǎn)量。

反應(yīng)爐工作氣壓范圍從高真空度到大氣壓, 可在約344kPa壓力下預(yù)凈化處理。該工藝所需的氣體包括:胂化氫、磷化氫、氫、氮和氬等。膜沉積工藝質(zhì)量取決于對(duì)氣體混合及質(zhì)量流量的控制。產(chǎn)量取決于濕度的控制精度。也就是說(shuō), 濕度及氧的測(cè)量, 對(duì)設(shè)計(jì)嚴(yán)格的氣體混合規(guī)范十分重要, 整個(gè)工藝過(guò)程離不開(kāi)熱電制冷自動(dòng)檢測(cè)露層的平衡式精密露點(diǎn)儀的監(jiān)測(cè)。

 

日本tekhne達(dá)到國(guó)內(nèi)高質(zhì)量和低價(jià)格的新世界標(biāo)準(zhǔn)露點(diǎn)儀TK-100



 

特征

• 國(guó)內(nèi)開(kāi)發(fā)/國(guó)內(nèi)制造/國(guó)內(nèi)校準(zhǔn)
• 露點(diǎn)測(cè)量范圍為-100至+ 20°C dp
• 精度±2℃dp
• 高響應(yīng)速度
• 競(jìng)爭(zhēng)性定價(jià)系統(tǒng)
• 快速交貨
• 全面支持系統(tǒng)
• 可追溯至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

主要用途

• 手套箱中的露點(diǎn)管理
• 檢查烘干機(jī)的露點(diǎn)
• 熱處理爐的氣氛管理
• 潔凈室/干燥室露點(diǎn)管理
• 氣體純度控制
• 天然氣水分管理
• 半導(dǎo)體制造設(shè)備
• 有機(jī)EL制造

特點(diǎn)

高品質(zhì)家用露點(diǎn)儀

過(guò)去40年來(lái)，Techne Measurement Co.，Ltd.一直在使用以露點(diǎn)計(jì)為中心的濕度管理和測(cè)量設(shè)備。電容式（阻抗式）露點(diǎn)計(jì)TK-100系列是Techne Measurement Co.，Ltd.的主要產(chǎn)品。
TK-100在線露點(diǎn)儀是一套TK-100變送器，監(jiān)視器和傳感器電纜，因此您可以輕松地開(kāi)始測(cè)量露點(diǎn)。

達(dá)到易于引入的價(jià)格范圍

通過(guò)執(zhí)行日本制造，生產(chǎn)線和校準(zhǔn)的所有過(guò)程，我們將質(zhì)量放在*，并以易于引入所有客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)條件的價(jià)格范圍全面追求該產(chǎn)品。 ..
同時(shí)，我們建立了交貨時(shí)間短的運(yùn)輸系統(tǒng)。

引進(jìn)先進(jìn)的中心技術(shù)

TK-100在線露點(diǎn)儀的傳感器是通過(guò)反映我們?cè)谛碌奶沾蓚鞲衅骷夹g(shù)上積累的大量數(shù)據(jù)而制成的。每個(gè)傳感器的特性都記錄在變送器中，溫度由傳感器溫度計(jì)補(bǔ)償以測(cè)量傳感器輸出，并且露點(diǎn)值線性輸出。這使得每個(gè)傳感器*兼容。

采樣

對(duì)TK-100進(jìn)行采樣非常容易。
直接安裝在管道或測(cè)量環(huán)境中，或者如果可以繞過(guò)，則安裝過(guò)濾器，傳感器塊和流量計(jì)以進(jìn)行采樣。這些也可以作為“入門(mén)工具包”的選件購(gòu)買(mǎi)。